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ULSI硅襯底化學機械研磨技術研究StudyofCMPLappingTechnique
硅錳(meng)冶(ye)煉(lian)渣簡(jian)稱硅錳(meng)渣,是冶(ye)煉(lian)硅錳(meng)合金的(de)過(guo)程(cheng)中(zhong)產(chan)生的(de)固(gu)體廢渣,由于(yu)冶(ye)煉(lian)工藝的(de)限制,硅錳(meng)冶(ye)煉(lian)渣中(zhong)含有一定量的(de)硅錳(meng)合金,尤其(qi)是硅錳(meng)干渣,其(qi)中(zhong)的(de)硅錳(meng)合金含量較高,。
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在對(dui)單(dan)晶硅片進行化(hua)學機(ji)械(xie)(xie)研(yan)磨的過(guo)程中,通過(guo)改(gai)變化(hua)學機(ji)械(xie)(xie)研(yan)磨的一些重要工藝參數(用(yong)于(yu)超精密硅晶片表面的化(hua)學機(ji)械(xie)(xie)拋(pao)光(CMP)技術研(yan)究(jiu)[J].潤滑與密封,2006,31。
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本技(ji)術揭(jie)示的(de)在化學(xue)機(ji)械拋光(guang)工藝中確定研磨(mo)時間的(de)方法093半導體硅晶片水基研磨(mo)液053安全閥門(men)研磨(mo)機(ji)044031氣力分(fen)級分(fen)離的(de)粉(fen)碎或研磨(mo)工藝流(liu)程039一種高。
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《機械工藝師》1995年(nian)(nian)08期加入收(shou)藏獲取(qu)高(gao)精(jing)度氣壓(ya)燒結氮化硅(gui)陶瓷球的4秦展田;陶瓷球研磨加工過程(cheng)的狀(zhuang)態監測(ce)[D];天津大學(xue);2007年(nian)(nian)5許秦;硬質。
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