MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(FBAR)研究
在固態(tai)裝配型諧(xie)振器(SMR)方面,論文采(cai)用上述模型分析(xi)了四分之一波長布拉格反射(she)柵對其諧(xie)振特性的影響,得(de)到(dao)了SMR器件獲得(de)理(li)想性能所需(xu)的少反射(she)柵對數;另外(wai),考慮(lv)到(dao)實(shi)際(ji)。
石英晶體諧振器行業技術文章_慧聰網
壓電(dian)層(ceng)的(de)(de)(de)典型(xing)厚(hou)度(du)在幾個微米或壓力場看起來與(單晶的(de)(de)(de))石(shi)英模式的(de)(de)(de)石(shi)英這種類型(xing)的(de)(de)(de)BAW被(bei)稱為固態(tai)裝配諧振器(SMR)。魯棒(bang)性而言(yan),,則可(ke)減少諧振器。
ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析-《中國聲學學會2007年青年
ZnO固(gu)態裝配型諧(xie)振(zhen)器(SMR)的模擬分析(xi)湯亮(liang)郝(hao)震宏(hong)喬東(dong)海汪(wang)承灝摘(zhai)要:正(zheng)1引言近年來,薄膜體聲波諧(xie)振(zhen)器(FBAR)由于(yu)其較小的體積以(yi)及(ji)可與(yu)IC電路進行單。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析_百度文庫
這(zhe)樣形成(cheng)的諧振器(qi)是固態裝配諧振器(qi)(SMR)。在一個實施例中,襯底12由(you)硅(Si)制(zhi)成(cheng),PZ層(ceng)18由(you)氮化鋁(AlN)制(zhi)成(cheng)。或者,也可(ke)以(yi)使用(yong)其他(ta)的壓電材料來制(zhi)作(zuo)PZ層(ceng)18。在一。
CN1845453A-使用填充凹進區的聲諧振器的性能增強-Google
基(ji)于CMOS工藝的高(gao)性能射頻濾(lv)波器:體聲波濾(lv)波器BAW第2頁(ye)/共(gong)6頁(ye)<上一頁(ye)下這種類型的BAW被(bei)稱為固態(tai)裝配諧振器(SMR)。魯(lu)棒性而言,SMR比膜結構的BAW要好(hao)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_中華文本庫
這種(zhong)類型的(de)BAW被(bei)稱為固態裝(zhuang)(zhuang)配諧振器(SMR)。魯棒性而言,SMR比膜結構的(de)BAW要(yao)好很多(duo)。在劃片和(he)(he)裝(zhuang)(zhuang)配所需的(de)各種(zhong)標(biao)準工序中,沒有機(ji)械損壞的(de)風險。壓電層(ceng)和(he)(he)電極(ji)層(ceng)上(shang)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器(BAW)
和電極做(zuo)成膜(mo)(mo)結構(gou)或一并沉(chen)積到一個薄的支(zhi)撐(cheng)膜(mo)(mo)上,形成空(kong)氣一固體(ti)交界面;還有(you)一種方式是采用“聲(sheng)波(bo)鏡”形成反射面來實現,這種結構(gou)被稱為(wei)“固態裝配諧振器(SMR)。
薄膜體聲波濾波器的材料設計及應用-豆丁網
鋯鈦酸鉛溶膠凝膠諧(xie)振(zhen)器建立(li)微型(xing)(xing)體(ti)聲波諧(xie)振(zhen)器機(ji)械結構的等(deng)效電(dian)路模型(xing)(xing),運(yun)用PSPICE軟件研究4湯亮;郝(hao)震宏;喬東海;汪承灝(hao);;ZnO固態(tai)裝(zhuang)配型(xing)(xing)諧(xie)振(zhen)器(SMR)。
龍俞兆-技術總結-道客巴巴
[0003]壓電薄膜(mo)諧(xie)(xie)振(zhen)器可以(yi)分類為FBAR(膜(mo)體聲諧(xie)(xie)振(zhen)器)型和SMR(固態裝(zhuang)配諧(xie)(xie)振(zhen)器)型。[0003]thepiezoelectricthinfilmresonatorcanbeclassifiedasFBAR。
PZT薄膜材料的生長與應用-《廈門大學》2009年碩士論文
上述聲波(bo)(bo)器(qi)件的示例為(wei)諸如(ru)FBAR(膜體聲波(bo)(bo)諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi))和SMR(SolidlyMoutedResonator:固(gu)態(tai)裝(zhuang)配諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi))的薄膜諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)。Examplesoftheacousticwavedevicesuchas。
CN101083460B-Filterhavingmultiplepiezoelectricthin-
聲(sheng)諧振(zhen)器(10;110;和210)包括(kuo)少部(bu)分地(di)補(bu)(bu)償(chang)通過(guo)電(dian)極壓電(dian)疊(die)層(18)引(yin)入的溫度(du)(du)感應(ying)(ying)效應(ying)(ying)的鐵(tie)磁補(bu)(bu)償(chang)器(20;120;和220)。該補(bu)(bu)償(chang)器具(ju)有(you)正頻(pin)率溫度(du)(du)系數,而疊(die)層具(ju)有(you)負(fu)。
BAW_百度文庫
包(bao)含這些壓(ya)電(dian)薄膜(mo)(mo)諧振(zhen)器的濾波器也(ye)受到關注。[0003]壓(ya)電(dian)薄膜(mo)(mo)諧振(zhen)器的例(li)子包(bao)括(kuo)FBAR(薄膜(mo)(mo)腔聲(sheng)諧振(zhen)器,FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態裝(zhuang)配諧振(zhen)器,Solidly。
CN101136620B-Acousticwavedevice,filterandduplexer
將上(shang)述(shu)壓(ya)電(dian)薄膜諧振器分為(wei)兩種類(lei)型(xing),FBAR(薄膜腔聲諧振器)和(he)SMR(固態裝配諧振器)。FBAR包括層(ceng)疊在(zai)諸如硅(gui)或玻璃的基板上(shang)的上(shang)電(dian)極膜、壓(ya)電(dian)膜和(he)下(xia)電(dian)極膜的層(ceng)疊結構。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析SimulationAnalysisof
包含這些壓電薄膜(mo)諧振(zhen)(zhen)器的濾(lv)波器也受到關注。壓電薄膜(mo)諧振(zhen)(zhen)器的例(li)子包括FBAR(薄膜(mo)腔聲諧振(zhen)(zhen)器,FilmBulkAcousticResonator)型(xing)和SMR(固態裝配諧振(zhen)(zhen)器,SolidlyMounted。
CN1340915A-聲波諧振器及在溫度變化時運行其以保持諧振的
另外值(zhi)得一提的是,德國(guo)的Infneon公司在2003年推出了具有(you)布拉(la)格(ge)反射層結(jie)構的固(gu)貼式(又(you)稱(cheng)固(gu)態裝(zhuang)配型)薄膜體(ti)聲波諧振(zhen)器(SMR-FBAR)[9-10].而我國(guo)關(guan)于。
CN1862959B-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
0引(yin)言固(gu)態引(yin)信諧(xie)振器(qi)是(shi)電(dian)子安全(quan)系統(tong)的(de)重(zhong)要(yao)組成部(bu)分(fen)之一,它(ta)能在后坐加速度(du)和旋轉離(li)心力的(de)作用下向前(qian)運(yun)動,使限位保險處于鎖定狀態,從(cong)而使引(yin)信處于待發狀態。但(dan)是(shi),。
CN1677852A-諧振器濾波器以及諧振器的制造-Google
毫米(mi)波平(ping)面振(zhen)蕩器基片集成(cheng)波導相位噪聲(sheng)雙端口壓控振(zhen)蕩器注入鎖定諧波振(zhen)蕩器毫米(mi)波平(ping)面振(zhen)蕩器是毫米(mi)波平(ping)面集成(cheng)系統ZnO固態裝配型(xing)諧振(zhen)器(SMR)的模(mo)擬分析[。
CN1862959A-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
聲諧振器(qi)(10;110;和210)包括少部分(fen)地補償通過(guo)電極壓電疊層(ceng)(18)引(yin)入的溫度感(gan)應效應的鐵(tie)磁補償器(qi)(20;120;和220)。Theacousticresonator(10;110;and。
薄膜體聲波諧振器(FBAR)的結構制備工藝研究-會議論文-道客巴巴
關鍵詞:微波濾(lv)波器(qi)時(shi)域有(you)限差(cha)分法階梯阻抗諧振(zhen)器(qi)橢圓函(han)數濾(lv)波器(qi)多層6湯亮(liang);郝(hao)震宏;喬東海;汪承(cheng)灝;;ZnO固態裝配(pei)型諧振(zhen)器(qi)(SMR)的模擬分析[A];。
固貼式薄膜體聲波諧振器用材料體系研究進展-豆丁網
摘要固態微型諧(xie)振器的工作頻率(lv)(lv)高、功率(lv)(lv)容量大、損耗低、體積小,是目前有望第三種為(wei)本研究采用反(fan)射層聲(sheng)學(xue)隔離固定結(jie)構(SolidlyMountedResonatorSMR),如圖l一。
MEMS固態引信諧振器的系統級設計與仿真-《科技廣場》2007年09期
在固態裝配(pei)型諧振器(qi)(qi)(SMR)方面,論(lun)文采用上述(shu)模型分析了四(si)分之一波長布拉格反射(she)柵(zha)對(dui)其諧振特性(xing)(xing)的(de)(de)影響,得(de)到了SMR器(qi)(qi)件獲得(de)理(li)想性(xing)(xing)能所需的(de)(de)少反射(she)柵(zha)對(dui)數(shu);另外,考(kao)慮(lv)到實際。
復合雙壓電層FBAR的建模與仿真楊成韜1,李健雄1,許紹俊2,銳1,-
這樣形成的(de)諧振(zhen)器是(shi)固態(tai)裝配(pei)諧振(zhen)器(SMR)。Thethusformedassemblyoftheresonatoriidresonator(SMR).在一個實施例中,襯底12由(you)硅(Si)制成,。
基于基片集成波導的高性能毫米波平面振蕩器研究與應用-《電子
大字報(bao)利(li)用(yong)無(wu)線傳感器(qi)網絡實現運動聲(sheng)源(yuan)的(de)定位與跟蹤錄取(qu),報(bao)告用(yong)相對(dui)運動幾何求解BOT問題ZnO固(gu)態裝配型諧振(zhen)器(qi)(SMR)的(de)模擬分析(xi)PGC解調(diao)光纖傳聲(sheng)器(qi)技術的(de)討(tao)論一(yi)種單。
CN1229917C-Soundwaveresonator-Google
將上述壓電薄膜(mo)諧(xie)振器(qi)分為兩種類型,FBAR(薄膜(mo)腔(qiang)聲(sheng)諧(xie)振器(qi))和(he)SMR(固態裝(zhuang)配(pei)諧(xie)振器(qi))。FBAR包括層疊在諸(zhu)如(ru)硅或玻璃的基板上的上電極膜(mo)、壓電膜(mo)和(he)下電極膜(mo)的層疊。
無線通信系統中的微波濾波器性能及小型化研究-《上海大學》2004
2007年10月31日-壓(ya)電薄膜諧振(zhen)(zhen)器可分成FBAR(薄膜塊體(ti)聲(sheng)波諧振(zhen)(zhen)器)型(xing)(xing)和SMR(固態裝配諧振(zhen)(zhen)器,solidlymountedresonator)型(xing)(xing)。Thepiezoelectricthinfilmresonatormay。
基于MoTi布拉格反射層的固態微型諧振器與濾波器的研究-豆丁網
該(gai)傳感(gan)器(qi)是(shi)混合型諧振(zhen)無源諧振(zhen)結構(gou),其可以(yi)在制造(zao)過程中被集成于車輛(liang)地面連接裝置HBAR“高模薄膜(mo)體聲(sheng)波諧振(zhen)器(qi)”),或(huo)者帶有布拉格(ge)反射(she)鏡(SMR“固態裝配型諧振(zhen)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_百度文庫
該傳感器(qi)是(shi)混合(he)型(xing)諧(xie)(xie)振(zhen)(zhen)無源諧(xie)(xie)振(zhen)(zhen)結構,其(qi)可以(yi)在(zai)制造過程中被集(ji)成于車輛地面(mian)連接(jie)裝置HBAR"高模薄膜體聲波諧(xie)(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)"),或(huo)者帶(dai)有布(bu)拉(la)格反射(she)鏡(SMR"固態(tai)裝配型(xing)諧(xie)(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)"。
院機構知識庫網格(CASIRGRID):MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(
2010年6月16日(ri)-[0020]壓電薄膜諧振器(qi)包括FBAR型和SMR型,其中FBAR是薄膜體聲波諧振器(qi)(Film-BulkAcousticResonator)的縮(suo)寫(xie),以(yi)及SMR是固態安裝諧振器(qi)(SolidlyMounted。
CN1845453A-Acousticresonatorperformanceenhancement
2005年10月5日-將上述壓電薄膜諧振(zhen)器分為兩(liang)種(zhong)類型,FBAR(薄膜腔聲諧振(zhen)器)和SMR(固(gu)態裝(zhuang)配(pei)諧振(zhen)器)。Theabovepiezoelectricthinfilmresonatorisdividedinto。
薄膜諧振器技術概述_百度文庫
[0003]壓電薄膜諧(xie)振器可分成FBAR(薄膜塊體聲波諧(xie)振器)型和(he)SMR(固態裝配諧(xie)振器,solidlymountedresonator)型。FBAR具有由上(shang)部電極(ji)、壓電膜和(he)下部電極(ji)構成的。